실리콘 카바이드 캔틸레버 패들
제품 상세 및 적용
웨이퍼 로딩 력이 큰 실리콘 카바이드 SiSiC / SiC 캔틸레버 패들 / 빔은 안정적인 성능, 고온에서의 비 변형 및 큰 웨이퍼 로딩 력을 가지고 있기 때문에 로봇 자동 로딩 및 핸들링 시스템에 적합합니다. 캔틸레버 패들의 단면이 변형없이 안정적이기 때문에 기존의 퍼니스 튜브를 사용하여 더 큰 사이즈의 웨이퍼를 만들 수 있습니다. 웨이퍼 로딩 력이 큰 실리콘 카바이드 SiSiC / SiC 캔틸레버 패들 / 빔은 LPVCD 코팅과 유사한 열팽창 계수를 기반으로 LPVCD에 적용될 수 있으며, 이는 유지 보수 및 청소주기를 크게 연장하고 오염 물질을 크게 줄입니다.
반응 결합 실리콘 카바이드 RBSIC의 기술적 인 매개 변수 :
| 안건 | 단위 | 데이터 |
| 적용 온도 | ℃ | 1380 |
| 밀도 | G / cm3 | > = 3.02 |
| 열린 다공성 | % | <0.1 |
| Moh의 경도 척도 | 13 | |
| 굽힘 강도 | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| 탄성 계수 | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| 열 전도성 | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| 열팽창 계수 | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| 내산성 알칼리 | 우수한 |
풍모:
ㅏ. 고온에서 변형되지 않으며 웨이퍼 로딩 력이 큽니다.
비. 우수한 열충격 저항 및 긴 서비스 수명;
씨. 캔틸레버 패들의 열팽창 계수는 매우 작아 유지 보수 및 청소주기를 크게 연장합니다.
오염 물질을 대폭 줄입니다
실리콘 카바이드 세라믹으로 만든 다른 가마 가구
웨이퍼 로딩을위한 반응 소결 실리콘 카바이드 SiSiC 캔틸레버 패들 외에도 RBSIC / SISIC 실리콘 카바이드 빔, 노즐 튜브, 나선형 노즐 튜브, 스월 노즐 튜브, 산화물 결합 SIC 실리콘 카바이드 배트 / 세터 플레이트 및 RBSIC 냉각 파이프를 포함한 다른 킬른 가구도 생산합니다. .
내마모성 RBSIC / SISIC 실리콘 카바이드 제품
당사의 RBSIC / SISIC 실리콘 카바이드 제품은 우수한 내마모성, 내식성 및 긴 서비스 수명의 장점을 가지고 있기 때문에 가공 파이프 또는 사이클론에 쉽게 설치할 수있는 내마모성 라이닝으로 만들 수도 있습니다.
